vH2O2 除染における凝縮の影響

このホワイトペーパーでは、過酸化水素蒸気除染における重要なプロセスパラメータ間の関係について詳しく説明しています。この背景知識に基づき、効果的で繰り返し可能なvH₂O₂除染サイクルの開発が可能になります。

ここでは、単一パラメータ計測はモニタリングには不十分であり、プロセス制御には効果が少ない理由を示すとともに、凝縮を正確に予測・制御するためには相対水分飽和度の値が重要である理由を示します。

また、凝縮と最大ppm vH₂O₂値到達の両方に、最も影響を与える4つの主要パラメータについて学ぶことができます。

これらのパラメータの影響に基づき、除染プロセスを成功させるための4つのルールを提案します。