半导体设备监测

精确而稳定的测量装置可以严格地控制半导体设备周围的微环境。

维萨拉公司为相对湿度和气压测量提供紧凑型 OEM 模块。

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DMP7 probe head and body

智能型露点和温度探头 DMP7

(针对狭小空间内的安装)
维萨拉 DRYCAP® 智能型露点和温度探头 DMP7 针对狭小空间、低湿度应用而打造。它的探头很短,适合安装在空间有限的地方(如半导体制造设备)。其他典型应用包括工业干燥系统、压缩空气系统和干燥室。 智能型 DMP7 属于 Indigo 系列产品,与 Indigo500 变送器 和...
DMP8 probe head and body

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维萨拉 DRYCAP® 智能型露点和温度探头 DMP8 专门设计用于压力不超过 40 bar 的工业低湿度应用,典型应用包括工业干燥、压缩空气系统和半导体行业中的应用。 DMP8 本身带 1/2 英寸 NPT 或 ISO 螺纹的螺栓,可调整插入深度。使用可选的球阀安装套件...
Indigo520

Indigo500 系列变送器

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CO2 probe GMP252 with Indigo

Indigo200 系列变送器(适用于维萨拉智能探头)

适用于维萨拉湿度、温度、露点、油中微量水分、CO2 和气化 H2O2 智能探头
维萨拉 Indigo200 系列主机设备是 维萨拉 Indigo 产品系列 的一部分,适用于维萨拉的智能独立湿度探头( HMP1 , HMP3、HMP4、HMP5、HMP7、HMP8 和 HMP9)、露点探头(DMP5、DMP6、DMP7 和 DMP8)、温度探头 (TMP1)、CO 2 探头...
HMT330 Series Humidity and Temperature Transmitters

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用于要求苛刻的温湿度测量
使用可以信赖的仪器在恶劣环境中测量湿度。具有 可选择10 年保修* 的维萨拉 HUMICAP® 工业用温湿度变送器系列 HMT330 是为需要稳定测量和广泛定制的苛刻工业应用设计的。 正在寻找兼具 HMT330 性能和可互换探头,且支持两个传感器探头的变送器? 请查看 Indigo 系列 ....
HMP110 with a cable

温湿度探头 HMP110

用于苛刻批量应用的 RH 精度要求 ±1.5%
微型 HMP110 的测量范围为 0 ... 100%RH; -40 ... +80°C,探头采用最新一代 HUMICAP ® 180R 传感器,具有最佳的稳定性和较高的化学耐受性。HMP110 有一个 IP65 分类的金属外壳。 该探头适用于批量应用或集成到其他制造商的设备,也适用于手套箱、温室...
HM70 Hand-Held Humidity and Temperature Meter

手持式温湿度表HM70

用于要求严苛的现场抽检及比对
维萨拉 HUMICAP HM70 专门设计用于要求严苛的现场抽检及比对 。 苛刻的湿度测量,也是用于维萨拉固定湿度仪的现场检查和校准的理想选择 根据不同应用,HM70包含一个MI70指示器和一个可选探头。
PTU300 Combined Pressure, Humidity and Temperature Transmitter

压力,湿度和温度一体变送器 PTU300

为要求苛刻的应用
所述 PTU300 是一个独特的仪表可同时测量三个参数:气压,湿度和温度。该仪器具有用于各种测量需要四个不同的湿度探头选项。可靠的 HUMICAP 和 BAROCAP 传感器技术,使其适用于多种应用,如发动机的测试室、校准实验室、船用发动机进气口的监测和苛刻的气象应用。
Vaisala Differential Pressure Transmitter PDT102

差压变送器 PDT102

适用于生命科学和高科技洁净室应用
主要用于生命科学和高技术洁净室应用而设计的高性能仪,PDT102 配置有高级的 MEMS 硅传感器技术提供高精确度、灵敏度、稳定性和耐久性。
DMT152 Dewpoint Transmitter for Low Dew Point Measurement in OEM Applications

露点变送器 DMT152

(在极度干燥环境中的露点测量)
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The Vaisala DRYCAP® Dewpoint Transmitter DMT143 is a miniature dew point measurement instrument

微型露点变送器 DMT143 和 DMT143L(长型)

(针对 OEM 应用)
当您想要准确地测量小型压缩空气干燥机、塑料干燥机、添加剂生产和其他 OEM 应用场合内的露点时,微尺寸露点变送器 DMT143 和 DMT143L 是您的理想选择。它们很容易集成,并可以应用于手持式维萨拉 DM70 中。长型设备已取代 DMT242。

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