用于半导体工艺流程、设施监测和控制的解决方案 联系我们 半导体晶圆和微电子制造是一个要求很高、几乎不容出错的工艺过程。该行业高度依赖于高性能监测仪器，以准确测量化学品成分和环境条件。 维萨拉半导体制造行业测量方案 维萨拉为半导体制造商和 MEMS 代工厂、半导体设备供应商、晶圆厂运营商和材料供应商提供可靠测量。 半导体行业在线折光仪用于散装化学品和研磨液配送、使用点混合、加料和抛光过程中进行在线浓度监测。 维萨拉准确的气压、温度和湿度测量仪器为车间环境提供精确数据，并具有良好的准确度、长期稳定性和快速响应能力。 应用 湿化学品实时测量 半导体晶圆厂在整个制程工艺中要消耗数以吨计的化学品。 每种化学溶液的可靠性是工厂关心的问题，即使轻微的规格偏离也可能会导致设备污染和晶圆报废，带来严重损失。 了解有关晶圆厂化学药品工艺监测的更多信息 光刻中的晶圆质量 半导体制造中的集成电路质量取决于光刻机的状况。准确的气压、温度和湿度测量能增强对环境的精准调节，也有助于提高晶圆光刻机的加工能力。 查找相关产品 (PDF) 压缩空气和氮气工艺管线 如果您目前使用的是压缩空气或氮气工艺管线，露点测量在避免设备腐蚀的情况下又可以避免空气过度干燥，帮助您节约资源。维萨拉的 DRYCAP 技术实现了快速响应、准确测量，并且维护工作量很小。 查找相关产品 设施控制 通风不足不仅会影响员工健康，还会大大降低工作效率（降幅高达 18%）。使用可靠耐用、可追溯的暖通空调传感器准确测量湿度、CO2 和温度，既能提高能源效率，也能确保员工健康。 查找相关产品 为什么选择维萨拉？ 维萨拉深谙半导体行业，也是客户值得信赖的合作伙伴。 通过设计和制造不同关键半导体工艺的产品，从化学品和工艺质量监测到环境空气监测， 我们对业务有着全面而彻底的了解。 通过运维我们自己的内部洁净室以及为维萨拉产品和出于研发目的制造微芯片， 我们获得了对工艺的深刻理解。 维萨拉致力于在整个生命周期内为产品提供支持， 并就近为您提供优质服务和支持。 联系我们 相关产品 智能型露点和温度探头 DMP7 维萨拉 DRYCAP® 智能型露点和温度探头 DMP7 针对狭小空间、低湿度应用而打造。它的探头很短，适合安装在空间有限的地方（如半导体制造设备）。 了解更多 智能型露点和温度探头 DMP8 维萨拉 DRYCAP® 智能型露点和温度探头 DMP8 设计用于压力不超过 40 bar 的工业低湿度应用，典型应用包括工业干燥、压缩空气系统和半导体行业中的应用。 了解更多 Indigo80 手持式测量仪表 Indigo 数据处理单元和探头系列中的新成员 Indigo80 是一款紧凑型手持式显示表头和数据记录仪。 了解更多 Indigo300 数据处理单元 维萨拉 Indigo300 数据处理单元是兼容维萨拉 Indigo 独立智能探头的主机设备。 了解更多 Indigo500 系列数据处理单元 维萨拉 Indigo500 系列数据处理单元是适用于维萨拉 Indigo 兼容独立智能探头的主机设备。Indigo500 系列包括多功能 Indigo520 数据处理单元和具有基本功能的 Indigo510 数据处理单元。 了解更多 露点变送器 DMT152 DMT152 为可靠测量低露点而设计（低至 -80°C 以下），它适用于半导体行业以及多种工业应用场合，如纯煤气、干燥机、手套箱、干燥室、添加剂生产和其他需要以高精度控制湿度的应用场合。 了解更多 微型露点变送器 DMT143 和 DMT143L（长型） 当您想要准确地测量小型压缩空气干燥机、塑料干燥机、添加剂生产和其他 OEM 应用场合内的露点时，微尺寸露点变送器 DMT143 和 DMT143L 是您的理想选择。 了解更多 温湿度探头 HMP110 微型 HMP110 的测量范围为 0 ... 100%RH; -40 ... +80°C，探头采用最新一代 HUMICAP ® 180R 传感器，具有最佳的稳定性和较高的化学耐受性。HMP110 有一个 IP65 分类的金属外壳。 了解更多 差压变送器 PDT102 主要用于生命科学和高技术洁净室应用而设计的高性能仪器，PDT102 配置有强劲的 MEMS 硅传感器技术提供高精确度、灵敏度、稳定性和耐久性。 了解更多 维萨拉 K-PATENTS® 半导体行业用折光仪 PR-33-S 该折光仪外形紧凑，流通池采用改良超纯 PTFE 制成，适用于半导体液态化学品测量。可通过 ¼ 至 1 英寸的皮拉 Pillar 或扩口 Flare 连接。 了解更多 更多信息 案例 维萨拉是许多半导体制造厂测定钨的 CMP 研磨液中 H2O2 浓度的仪器供应商 维萨拉 K‑PATENTS 半导体行业用折光仪为半导体制造环境设计。该仪器尺寸小且不含金属，因此适合在不影响工艺的情况下测量化学物质。 了解更多 博客 水分是半导体制造过程中影响较大的污染物之一 —— 准确测量水分、湿度和温度 为避免产品质量和产量出现问题，在半导体制造过程中必须尤为谨慎地监测湿度和温度水平。维萨拉的高精度测量解决方案适用于制造工艺流程中的关键步骤，响应非常迅速，且能够适应各种环境条件。 了解更多 在线研讨会 保障半导体和电池制造的正常产出 在半导体和电池制造工艺流程中，杂质会导致产品质量大幅下降。尤其是水污染，因为水分蒸发产生的热量和膨胀产生的压力会引起各种问题，从而导致半导体和电池的质量和性能下降。 注册观看
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